晶体硅是一种重要的非金属材料,制备纯硅的主要步骤如下

晶体硅是一种重要的非金属材料,制备纯硅的主要步骤如下
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①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅　　②精硅与干燥HCl气体反应制得SiHCl3：Si＋3HCl =（200℃）=SiHCl3＋H2　　③SiHCl3与过量H2在1000～1100℃反应制得纯硅　　已知SiHCl3能与H2O强烈反应，在空气中易自燃.请回答下列问题：(1)第①步制备粗硅的化学反应方程式为___________.(2)粗硅与HCl完全反应后，经冷凝得到的SiHCl3（沸点33.0℃）中含有少量SiCl4（沸点57.6℃）和HCl（沸点-84.7℃），提纯SiHCl3采用的方法为--------------------（3）