请问二氧化硅、氮化硅和磷原子在半导体制造中的作用分别是什么?

bluedream122 1年前已收到3个回答举报

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如果想了解这些知识首先要知道半导体制造中最重要的最基础的是PN结,晶体管、MOS管都是以此为基础制造出来的.而p作为掺杂剂,用于形成n型半导体.二氧化硅主要是做掩蔽膜.氮化硅本身就是半导体,既可以做掩蔽膜又可以做异质结,作为第三代半导体,它有很大的发展潜力

1年前

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磷原子是掺杂原子，用于二氧化硅（硅片的热氧化层）和氮化硅化合物半导体的掺杂。使其成为N型半导体。

1年前

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二氧化硅是传统的绝缘材料，用于制作栅电容和隔离。磷原子作为N型参杂，提供电子。GaN最主要的是制作“高电子迁移率晶体管（HEMT）”，由本征GaN与AlGaN的异质结形成二维电子气增大电子在高电场下的迁移率。

1年前

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