将气压从大气压降到10的-8次方Torr要经历哪分别经历哪三个真空泵抽气?

将气压从大气压降到10的-8次方Torr要经历哪分别经历哪三个真空泵抽气?
请注明各种真空泵的抽真空范围?
nqli 1年前 已收到1个回答 举报

qk29988 幼苗

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机械泵-扩散泵-分子泵-离子泵
不过,现在技术进步了,可以直接机械泵-分子泵即可达到10的-8次方To

1年前

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