figures of merit在MEMS领域中是什么意思?

指的是:材料的优值 或,器件的优值因子
例句‘:
The pyroelectric coefficient at 25 ℃ is 1 860 μC/(m 2·K),and the figure-of-merit of this film is 37.4 μC/(m 3·K).The high pyroelectric coefficients and the greater figures of merit of the Ba 0.64 Sr 0.36 TiO 3 thin films make it possible to be used for thermal infra-red detection and imaging.
热释电性能测试结果表明 :室温下Ba0 .6 4Sr0 .36 TiO3薄膜的热释电系数为 1860 μC/(m2 ·K) ,材料的优值为 3 7.4μC/(m3·K) ,这些结果表明 :应用溶胶 -凝胶工艺制备的Ba0 .6 4Sr0 .36 TiO3薄膜完全能满足红外探测器和热成像应用的需要
我不懂这个东西了的··希望能帮到你

在MEMS中，指的是材料的品质因数。这是一个非常关键的物理量，MEMS中经常用它来衡量一种材料或者器件的好与坏、优与劣。