在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思

几西西 1年前 已收到1个回答 举报

yaotianyue 花朵

共回答了19个问题采纳率:94.7% 举报

是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.
小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.

1年前

8
可能相似的问题
Copyright © 2024 YULUCN.COM - 雨露学习互助 - 16 q. 0.014 s. - webmaster@yulucn.com